分類
根據被測參數的變化分：
（1）變極距型電容傳感器(d)
（2）變面積型電容傳感器(A)
（3）變介質型電容傳感器(ε)
應用
1、ZCS1100型精密電容位移傳感器。
本傳感器可以在線檢測壓電微位移、振動台，電子顯微鏡微調，天文望遠鏡鏡片微調，精密微位移測量等。該傳感器是一個單一的通道，高性能線性位移測量系統，創新的電容位移測量技術，提供了納米測量能力，成本低，适合測量任何導電目标。
2、FWS-CⅡ型在線電容式水分檢測傳感器。
在線檢測各種工作機械的液壓、潤滑系統介質的含水率，特别是外部水容易滲入機械内部的軋鋼機、造紙機、汽輪機、船舶機械。監視循環油系統是否存在洩漏，如水冷卻器等。監視工作機械的密封元件是否損壞，引起外部水滲入。
監視環境空氣濕度對潤滑液壓系統油品品質和含水率的影響，從而精确測定潤滑油質量，預測設備故障，是設備潤滑油管理中的關鍵部件。本傳感器采用螺紋連接，體積小，重量輕，結構可靠，測量精度高，工作穩定，具有較強的抗電磁幹擾性能。封閉型不鏽鋼制外殼具有很好的防水防塵性能。可直接安裝于工廠現場液壓潤滑管道上。是理想的在線水分檢測傳感器。
該傳感器還可與控制室中的二次儀表或控制器相連，在線、連續、實時的檢測各種低水分油品的含水率。直接顯示，遠程控制和報警。實現數據存儲，積算、傳輸和控制功能。普遍應用于大中型機械聯動機組的液壓、潤滑循環系統例如：高線軋機和闆帶軋機潤滑油系統、闆帶軋機和棒線軋機液壓傳動系統、汽輪發電機組潤滑系統、造紙機組潤滑系統、船舶機械潤滑系統、燃料油庫。粘度計，污染度，濕度計電容式傳感器。
3、FW-C1型電容式潤滑油實時在線監測傳感器。
本傳感器可以在線準确測定潤滑油的污染程度，包括氧化程度、含水量和其它機械化學雜質污染度，從而精确測定潤滑油質量，判定是否需要更換潤滑油，即可節約油料，又能預測設備故障，是設備潤滑油管理中改變傳統的按期換油，實現按質換油的關鍵部件。本傳感器采用螺紋連接，體積小，重量輕，結構可靠，是理想的在線潤滑油檢測傳感器，可普遍應用于各類大型動力機械，軸承，齒輪箱，泵機和汽輪機的潤滑油檢測質量實時檢測中。該傳感器還可與控制室中的二次儀表或控制器相連，實現數據存儲，積算、傳輸和控制功能。
4、電容式壓力傳感器
5、加速度傳感器
6、差動式電容測厚傳感器
原理
電容式傳感器也常常被人們稱為電容式物位計，電容式物位計的電容檢測元件是根據圓筒形電容器原理進行工作的，電容器由兩個絕緣的同軸圓柱極闆内電極和外電極組成，在兩筒之間充以介電常數為e的電解質時，兩圓筒間的電容量為C=2∏eL/lnD/d，式中L為兩筒相互重合部分的長度；D為外筒電極的直徑；d為内筒電極的直徑；e為中間介質的電介常數。在實際測量中D、d、e是基本不變的，故測得C即可知道液位的高低，這也是電容式傳感器具有使用方便，結構簡單和靈敏度高，價格便宜等特點的原因之一。
特點優勢
電容式傳感器與電阻式、電感式等傳感器相比有如下一些優點：
(1)高阻抗、小功率,因而所需的輸入力很小，輸人能量也很低。電容式傳感器因帶電極闆間靜電引力極小(約幾個10-5N)，因此所需輸入能量極小，所以特别适宜用來解決輸入能量低的測量問題，例如測量極低的壓力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很靈敏,分辨力非常髙，能感受0.001μm甚至更小的位移。
(2)溫度穩定性好。傳感器的電容值一般與電極材料無關，有利于選擇溫度系數低的材料，又因本身發熱極小，對穩定性影響甚微。
(3)結構簡單，适應性強，待測體是導體或半導體均可,可在惡劣環境中工作。電容式傳感器結構簡單,易于制造,可做得非常小巧，以實現某些特殊的測量;能工作在高低溫、強輻射及強磁場等惡劣的環境中，也能對帶有磁性的工件進行測量。
(4)動态響應好。由于極闆間的靜電引力很小，可動部分做得很小很薄，因此其固有頻率很高，動态響應時間短，能在幾兆赫的頻率下工作，特别适合動态測量，如測量振動、瞬時壓力等。
(5)可以實現非接觸測量，具有平均效應。例如非接觸測量回轉軸的振動或偏心、小型滾珠軸承的徑向間隙等。當采用非接觸測量時,電容式傳感器具有平均效應，可以減小工作表面粗糙等對測量的影響。
不足之處
(1)輸出阻抗高，負載能力差。
(2)寄生電容影響大。
電容式傳感器的初始電容量很小,而傳感器的引線電纜電容(lm~2m導線可達800pF)、測量電路的雜散電容以及傳感器極闆與其周圍導體構成的電容等“寄生電容”卻較大，這一方面降低了傳感器的靈敏度;另一方面這些電容(如電纜電容)常常是随機變化的，将使傳感器工作不穩定，影響測量精度，其變化量甚至超過被測量引起的電容變化量，緻使傳感器無法工作。因此對電纜的選擇、安裝、接法都要有要求。
為減小電纜分布電容影響，可将電子線路的前級裝在離傳感器敏感部分很近的地方，或采用所謂“雙層屏蔽等電位傳輸技術”，
又稱“驅動電纜”技術。這種方法的基本思路是:連接電纜采用内外雙層屏蔽，使内屏蔽層與被屏蔽的導線電位相同，因而兩者之間沒有容性電流存在，這樣使引線與内屏蔽之間的電纜電容不起作用，外屏蔽仍被接地而對外界電場起屏蔽作用，其原理如圖5-15所示。外屏蔽接地後，對地之間電容将成為1:1放大器的負載，它也與電容式傳感器的電容無關。這樣無論電纜形狀和位置如何變化，都不會對傳感器的工作産生影響。
實驗證明：采用驅動電纜技術,即使電容式傳感器電容較小，在傳輸電纜長達10m時，傳感器仍能很好地工作。
兩點注意：
工作頻率等于或接近諧振頻率時，諧振頻率破壞了電容的正常作用。因此，工作頻率應該先擇低于諧振頻率。
電容式傳感器的有效電容除與位移有關外，還與角頻率有關。因此，在實際應用時必須與标定的條件（ω）相同。
測量電路
電容傳感器的特點：電容量小，變化更小（PF級）。理論上，交流電橋可作為電容傳感器的測量電路，但由于電容及變化太小，不易實現。包括（1）調頻電路（2）運算放大器式電路（3）二極管雙T形交流電橋（4）脈沖寬度調制電路
優缺點
電容式傳感器的優點是結構簡單,價格便宜，靈敏度高，零磁滞，真空兼容，過載能力強，動态響應特性好和對高溫、輻射、強振等惡劣條件的适應性強等。缺點是輸出有非線性，寄生電容和分布電容對靈敏度和測量精度的影響較大，以及聯接電路較複雜等。
