主要用途
用于地質、冶金、電子、建材、環境科學、半導體及材料科學等樣品,可做固體樣品的微區定性和定量分析,X射線線面掃描及背散射與二次電子圖像等分析,包括:1.元素定性和定量分析,可做礦物鑒定;2.樣品微區的表面形态,化學成份和微結構的分析;3.狀态分析,确定元素的賦存狀态。
指标信息
三道X射線波譜儀和一台能譜儀,常用分光晶體有LIF PET TAP等。X射線射角40°,放大倍率50~70000,加速電壓0~50kV.二次電子圖像分辨率70?,真空度:電子槍1×10-7乇,樣品室1×10-8乇。Sun工作站Unix系統多任務多窗口操作系統。新添PC2,PC3多層膜晶片,可以用其進行超輕元素B,C,N,O,F等元素的測定。同時在最近我們還将安裝從CAMECA公司購買的陰極發光探頭可以用以進行陰極發光成圖