發展曆史
傳感器的發展被劃分為三個階段:
第一階段始于20世紀50年代,結構型傳感器出現,它利用結構參量變化來感受和轉化信号。
第二階段始于20 世紀70年代,固體型傳感器逐漸發展,這種傳感器由半導體、電介質、磁性材料等固體元件構成。利用材料的熱電效應、霍爾效應,分别制成熱電偶傳感器、霍爾傳感器等。
第三階段由 20 世紀末開始,智能型傳感器出現并快速發展。它是計算機技術與檢測技術相結合的産物,能夠對外界信息具有一定檢測、自診斷、數據處理以及自适應能力,是當前傳感器的主流。
工作原理
物理量的傳感器。它是利用某些物理效應,把被測量的物理量轉化成為便于處理的能量形式的信号的裝置。其輸出的信号和輸入的信号有确定的關系。主要的物理傳感器有光電式傳感器、壓電傳感器、壓阻式傳感器、電磁式傳感器、熱電式傳感器、光導纖維傳感器等。
作為例子,讓我們看看比較常用的光電式傳感器。這種傳感器把光信号轉換成為電信号,它直接檢測來自物體的輻射信息,也可以轉換其他物理量成為光信号。其主要的原理是光電效應:當光照射到物質上的時候,物質上的電效應發生改變,這裡的電效應包括電子發射、電導率和電位電流等。
顯然,能夠容易産生這樣效應的器件成為光電式傳感器的主要部件,比如說光敏電阻。這樣,我們知道了光電傳感器的主要工作流程就是接受相應的光的照射,通過類似光敏電阻這樣的器件把光能轉化成為電能,然後通過放大和去噪聲的處理,就得到了所需要的輸出的電信号。這裡的輸出電信号和原始的光信号有一定的關系,通常是接近線性的關系,這樣計算原始的光信号就不是很複雜了。其他的物理傳感器的原理都可以類比于光電式傳感器。
應用
下面簡單介紹一下常見的幾種sensor的原理和作用以及一些簡單的例子。
1、touch sensor意是是接觸性sensor,當兩個物體接觸時産生的一種信号,将這個信号收集傳經計算機,可執行下一步的動作。這種sensor主要用來感應兩個物體的關系。
2、感光sensor,通過兩個簡單的電路來完成,一個電路有發光二極管或LED等發光元件,另一個電路則接有一個感光元件來感就發光體,當裝有sensor的兩物體具有對就的關系時,感光元件就會接收到信号,将這個信号傳給計算機,通過計算機來完成其它的動作。這種sensor主要用來感應是否到達預定的位置,或者用來确定兩物體的相對位置關系。
3、磁感sensor,通過磁性感應物體,當兩運動部件運動到一定的區域内時,可以通過磁感來感就到物體的存在及位置。
在一些電子産品的機器中,sensor可說是無處不在,每個sensor有具體作用也不同,在遇到sensor時,先看看它到底有什麼作用,為什麼要一個sensor,原理是什麼,然後再分析該如何處理。
物理傳感器的應用範圍是非常廣泛的,我們僅僅就生物醫學的角度來看看物理傳感器的應用情況,之後不難推測物理傳感器在其他的方面也有重要的應用。
比如血壓測量是醫學測量中的最為常規的一種。我們通常的血壓測量都是間接測量,通過體表檢測出來的血流和壓力之間的關系,從而測出脈管裡的血壓值。測量血壓所需要的傳感器通常都包括一個彈性膜片,它将壓力信号轉變成為膜片的變形,然後再根據膜片的應變或位移轉換成為相應的電信号。在電信号的峰值處我們可以檢測出來收縮壓,在通過反相器和峰值檢測器後,我們可以得到舒張壓,通過積分器就可以得到平均壓。
讓我們再看看呼吸測量技術。呼吸測量是臨床診斷肺功能的重要依據,在外科手術和病人監護中都是必不可少的。比如在使用用于測量呼吸頻率的熱敏電阻式傳感器時,把傳感器的電阻安裝在一個夾子前端的外側,把夾子夾在鼻翼上,當呼吸氣流從熱敏電阻表面流過時,就可以通過熱敏電阻來測量呼吸的頻率以及熱氣的狀态。
再比如最常見的體表溫度測量過程,雖然看起來很容易,但是卻有着複雜的測量機理。體表溫度是由局部的血流量、下層組織的導熱情況和表皮的散熱情況等多種因素決定的,因此測量皮膚溫度要考慮到多方面的影響。熱電偶式傳感器被較多的應用到溫度的測量中,通常有杆狀熱電偶傳感器和薄膜熱電偶傳感器。由于熱電偶的尺寸非常小,精度比較高的可做到微米的級别,所以能夠比較精确地測量出某一點處的溫度,加上後期的分析統計,能夠得出比較全面的分析結果。這是傳統的水銀溫度計所不能比拟的,也展示了應用新的技術給科學發展帶來的廣闊前景。
從以上的介紹可以看出,僅僅在生物醫學方面,物理傳感器就有着多種多樣的應用。傳感器的發展方向是多功能、有圖像的、有智能的傳感器。傳感器測量作為數據獲得的重要手段,是工業生産乃至家庭生活所必不可少的器件,而物理傳感器又是最普通的傳感器家族,靈活運用物理傳感器必然能夠創造出更多的産品,更好的效益。
分類
可以用不同的觀點對傳感器進行分類:
它們的轉換原理(傳感器工作的基本物理或化學效應);它們的用途;它們的輸出信号類型以及制作它們的材料和工藝等。根據傳感器工作原理,可分為物理傳感器和化學傳感器二大類:傳感器工作原理的分類物理傳感器應用的是物理效應,諸如壓電效應,磁緻伸縮現象,離化、極化、熱電、光電、磁電等效應。被測信号量的微小變化都将轉換成電信号。化學傳感器包括那些以化學吸附、電化學反應等現象為因果關系的傳感器,被測信号量的微小變化也将轉換成電信号。有些傳感器既不能劃分到物理類,也不能劃分為化學類。大多數傳感器是以物理原理為基礎運作的。化學傳感器技術問題較多,例如可靠性問題,規模生産的可能性,價格問題等,解決了這類難題,化學傳感器的應用将會有巨大增長。常見傳感器的應用領域和工作原理列于下表。
按照其用途分類:
壓力敏和力敏傳感器、位置傳感器、液面傳感器、能耗傳感器、速度傳感器
加速度傳感器、射線輻射傳感器、熱敏傳感器、24GHz雷達傳感器
按照其原理分類:
振動傳感器、濕敏傳感器、磁敏傳感器、氣敏傳感器、真空度傳感器、生物傳感器等。
按照其輸出信号分類:
模拟傳感器——将被測量的非電學量轉換成模拟電信号。數字傳感器——将被測量的非電學量轉換成數字輸出信号(包括直接和間接轉換)。膺數字傳感器——将被測量的信号量轉換成頻率信号或短周期信号的輸出(包括直接或間接轉換)。開關傳感器——當一個被測量的信号達到某個特定的阈值時,傳感器相應地輸出一個設定的低電平或高電平信号。
按照其材料分類:
在外界因素的作用下,所有材料都會作出相應的、具有特征性的反應。它們中的那些對外界作用最敏感的材料,即那些具有功能特性的材料,被用來制作傳感器的敏感元件。從所應用的材料觀點出發可将傳感器分成下列幾類:
(1)按照其所用材料的類别分:金屬聚合物、陶瓷混合物
(2)按材料的物理性質分:導體絕緣體、半導體磁性材料
(3)按材料的晶體結構分:單晶、多晶非晶材料
與采用新材料緊密相關的傳感器開發工作,可以歸納為下述三個方向:
(1)在已知的材料中探索新的現象、效應和反應,然後使它們能在傳感器技術中得到實際使用。
(2)探索新的材料,應用那些已知的現象、效應和反應來改進傳感器技術。
(3)在研究新型材料的基礎上探索新現象、新效應和反應,并在傳感器技術中加以具體實施。現代傳感器制造業的進展取決于用于傳感器技術的新材料和敏感元件的開發強度。傳感器開發的基本趨勢是和半導體以及介質材料的應用密切關聯的。
按照其制造工藝分類:
集成傳感器,薄膜傳感器,厚膜傳感器,陶瓷傳感器。集成傳感器是用标準的生産矽基半導體集成電路的工藝技術制造的。通常還将用于初步處理被測信号的部分電路也集成在同一芯片上。薄膜傳感器則是通過沉積在介質襯底(基闆)上的,相應敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時,同樣可将部分電路制造在此基闆上。厚膜傳感器是利用相應材料的漿料,塗覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然後進行熱處理,使厚膜成形。陶瓷傳感器采用标準的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠-凝膠等)生産。完成适當的預備性操作之後,已成形的元件在高溫中進行燒結。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,在某些方面,可以認為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。每種工藝技術都有自己的優點和不足。由于研究、開發和生産所需的資本投入較低,以及傳感器參數的高穩定性等原因,采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理。(空侶網暖通專家提供)
根據測量目的分類:
物理型傳感器是利用被測量物質的某些物理性質發生明顯變化的特性制成的。化學型傳感器是利用能把化學物質的成分、濃度等化學量轉化成電學量的敏感元件制成的。生物型傳感器是利用各種生物或生物物質的特性做成的,用以檢測與識别生物體内化學成分的傳感器。
按照功能分類:
傳感器按功能分類包括視覺、聽覺、嗅覺、味覺和觸覺5大類,其中代表視覺的光敏傳感器擁有低成本和易用性的特點,在檢驗、計量、測量、定向和瑕疵精密測量分揀等工業應用領域得到推廣和普及。随着精密制造業的發展,對精密測量技術的要求也越來越高,利用光學3D測量技術,有助于優化從原型和模具構建、首件檢驗報告到裝配分析等環節的質量控制,并有效節省檢測時間,快速推進新産品上市,而位移測量技術作為幾何量精密測量的基礎,不僅需要超高測量精度,而且需要對環境和材料的廣泛适應性,并且逐步趨于實時、無損檢測。與傳統接觸式測量方法相比,共聚焦傳感器具有高速度,高精度,高适應性等明顯優勢。
特性
傳感器靜态特性
傳感器的靜态特性是指對靜态的輸入信号,傳感器的輸出量與輸入量之間所具有相互關系。因為這時輸入量和輸出量都和時間無關,所以它們之間的關系,即傳感器的靜态特性可用一個不含時間變量的代數方程,或以輸入量作橫坐标,把與其對應的輸出量作縱坐标而畫出的特性曲線來描述。表征傳感器靜态特性的主要參數有:線性度、靈敏度、遲滞、重複性、漂移等。
(1)線性度:指傳感器輸出量與輸入量之間的實際關系曲線偏離拟合直線的程度。定義為在全量程範圍内實際特性曲線與拟合直線之間的最大偏差值與滿量程輸出值之比。
(2)靈敏度:靈敏度是傳感器靜态特性的一個重要指标。其定義為輸出量的增量與引起該增量的相應輸入量增量之比。用S表示靈敏度。
(3)遲滞:傳感器在輸入量由小到大(正行程)及輸入量由大到小(反行程)變化期間其輸入輸出特性曲線不重合的現象成為遲滞。對于同一大小的輸入信号,傳感器的正反行程輸出信号大小不相等,這個差值稱為遲滞差值。
(4)重複性:重複性是指傳感器在輸入量按同一方向作全量程連續多次變化時,所得特性曲線不一緻的程度。
(5)漂移:傳感器的漂移是指在輸入量不變的情況下,傳感器輸出量随着時間變化,此現象稱為漂移。産生漂移的原因有兩個方面:一是傳感器自身結構參數;二是周圍環境(如溫度、濕度等)。
傳感器動态特性
所謂動态特性,是指傳感器在輸入變化時,它的輸出的特性。在實際工作中,傳感器的動态特性常用它對某些标準輸入信号的響應來表示。這是因為傳感器對标準輸入信号的響應容易用實驗方法求得,并且它對标準輸入信号的響應與它對任意輸入信号的響應之間存在一定的關系,往往知道了前者就能推定後者。最常用的标準輸入信号有階躍信号和正弦信号兩種,所以傳感器的動态特性也常用階躍響應和頻率響應來表示。
傳感器的線性度
通常情況下,傳感器的實際靜态特性輸出是條曲線而非直線。在實際工作中,為使儀表具有均勻刻度的讀數,常用一條拟合直線近似地代表實際的特性曲線、線性度(非線性誤差)就是這個近似程度的一個性能指标。拟合直線的選取有多種方法。如将零輸入和滿量程輸出點相連的理論直線作為拟合直線;或将與特性曲線上各點偏差的平方和為最小的理論直線作為拟合直線,此拟合直線稱為最小二乘法拟合直線。
如何區分
傳感器的分類有很多,同樣傳感器可以通過不同方式進行分類。有一類是從測量目的進行區分傳感器。這樣傳感器可分為物理型傳感器,化學型傳感器等。下面就物理型傳感器做一個簡單的分析介紹,物理型傳感器又可以分為結構型傳感器和物性型傳感器。
結構型傳感器是以結構(如形狀、尺寸等)為基礎,利用某些物理規律來感受(敏感)被測量,井将其轉換為電信号實現測量的。例如電容式壓力傳感器,必須有按規定參數設計制成的電容式敏感元件,當被測壓力作用在電容式敏感元件的動極闆上時,引起電容間隙的變化導緻電容值的變化,從而實現對壓力的測量。又比如諧振式壓力傳感器,必須設計制作一個合适的感受被測壓力的諧振敏感元件,當被測壓力變化時,改變諧振敏感結構的等效剛度,導緻諧振敏感元件的固有頻率發生變化,從而實現對壓力的測量。
物性型傳感器就是利用某些功能材料本身所具有的内在特性及效應感受(敏感)被測量,并轉換成可用電信号的傳感器。例如利用具有壓電特性的石英晶體材料制成的壓電式傳感器,就是利用石英晶體材料本身具有的正壓電效應而實現對壓力測量的;利用半導體材料在被測壓力作用下引起其内部應力變化導緻其電阻值變化制成的壓阻式傳感器,就是利用半導體材料的壓阻效應而實現對壓力測量的。
一般而言,物理型傳感器對物理效應和敏感結構都有一定要求,但側重點不同。結構型傳感器強調要依靠精密設計制作的結構才能保證其正常工作;而物性型傳感器則主要依據材料本身的物理特性、物理效應來實現對被測量的感應。近年來,由于材料科學技術的飛速發展與進步,物理型傳感器應用越來越廣泛。這與該類傳感器便于批量生産、成本較低及易于小型化等持點密切相關。