理化性質
三氯矽烷在常溫常壓下為具有刺激性惡臭易流動易揮發的無色透明液體。
在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有着火的危險，遇明火則強烈燃燒，燃燒時發出紅色火焰和白色煙，生成SiO2、HCl和Cl2：SiHCl3+O2→SiO2+HCl+Cl2；
三氯矽烷的蒸氣能與空氣形成濃度範圍很寬的爆炸性混合氣，受熱時引起猛烈的爆炸。
它的熱穩定性比二氯矽烷好，在900℃時分解産生氯化物有毒煙霧(HCl)，還生成Cl2和Si。
遇潮氣時發煙，與水激烈反應:2SiHCl3+3H2O→(HSiO)2O+6ChemicalbookHCl；
在堿液中分解放出氫氣：SiHCl3+3NaOH+H2O→Si(OH)4+3NaCl+H2；
與氧化性物質接觸時産生爆炸性反應。
與乙炔、烴等碳氫化合物反應産生有機氯矽烷：SiHCl3+CH≡CH→CH2CHSiCl3、SiHCl3+CH2=CH2→CH3CH2SiCl3；
在氫化鋁锂、氫化硼锂存在條件下，SiHCl3可被還原為矽烷。
容器中的液态SiHCl3當容器受到強烈撞擊時會着火。
可溶解于苯、醚等。
無水狀态下三氯矽烷對鐵和不鏽鋼不腐蝕，但是在有水分存在時腐蝕大部分金屬。
三氯氫矽
三氯氫矽又稱三氯矽烷、矽氯仿，用作高分子有機矽化合物的原料。
三氯氫矽不僅是制造矽烷偶聯劑和其它有機矽産品的重要中間體，還是制造多晶矽的主要原料。
矽烷偶聯劑是一種重要的、高科技含量、高附加值的有機矽複合材料，通過矽烷偶聯劑可使非交聯樹脂實現交聯固化或改性，因此在玻璃纖維、鑄造、輪胎橡膠等行業得到了日益廣泛的應用。
生産三氯氫矽的主要副産品四氯化矽也是制造有機矽的主要原料，Chemicalbook它的制成品有矽酸酯、有機矽油、高溫絕緣漆、有機矽樹脂、矽橡膠和耐熱墊襯材料等。
高純的四氯化矽還是制造高純二氧化矽、無機矽化合物、石英纖維以及光導纖維的重要原料。
多晶矽産品的主要用途：
(1)可做成太陽能電池，将輻射能轉變為電能；
(2)高純的晶體矽是重要的半導體材料；
(3)金屬陶瓷、宇宙航行的重要材料；
(4)光導纖維通信，最新的現代通信手段；
(5)性能優異的矽有機化合物。
毒性
吸入三氯氫矽蒸氣數分鐘後，表現興奮，呼吸反射障礙，呼吸器官有炎症。
濺在皮膚上可引起壞死，潰瘍長期不愈。
最高容許濃度為1mg/m3(必須檢測HCl)。
生産人員要穿着密閉型工作Chemicalbook服，戴防毒口罩、密閉眼鏡、乳膠手套等勞保用品，防止呼吸器官、眼睛和皮膚的直接接觸。
生産設備要密閉，車間通風良好。下班後要洗淋浴，遵守個人衛生。生産工人進行就業前和定期體檢。
化學性質
無色液體。溶于二硫化碳、四氯化碳、氯仿、苯等。
用途
用作高分子有機矽化合物的原料，也用于儀表工業
制造有機矽化合物的原料，也是生産多晶矽的基本原料。
生産方法
沸騰氯化法矽粉經幹燥後加入氯化沸騰爐，與通人爐中的幹燥氯化氫氣體在340℃進行反應。生成的粗三氯氫矽經濕法除塵器、列Chemicalbook管冷凝器去蒸餾塔分離四氯化矽，由蒸餾塔出來的三氯氫矽氣體經冷凝，制得三氯氫矽成品。其反應方程式如下：Si+3HCl→SiHCl3+H2。
其他
類别：易燃液體。
毒性分級：中毒。
急性毒性：口服-大鼠LD50:1030毫克/公斤;吸入-小鼠LC50:1500毫克/立方米/2小時。
可燃性危險特性：遇明Chemicalbook火、高溫、氧化劑易燃;遇水或高溫産生有毒氯化物和氟化物煙霧。
儲運特性：庫房通風低溫幹燥;與氧化劑、酸類分開存放。
滅火劑：幹粉、幹砂、二氧化碳、泡沫。
安全信息
危險品标志：F+,C
危險類别碼：12-14-17-20/22-29-35
安全說明：16-26-36/37/39-43-45-7/9-43A
危險品運輸編号：UN12954.3/PG1
WGKGermany：1
RTECS号：VV5950000
F：4.5-21-31
TSCA：Yes
HazardClass：4.3
PackingGroup：I
海關編碼：28530090
毒害物質數據：10025-78-2(HazardousSubstancesData)
毒性：LD50orallyinrats:1.03g/kg(Smyth)
