人物經曆
學習經曆
2000.9-2004.7獲北京航空航天大學，飛行器設計與工程專業，本科學曆。
2005.9-2008.7獲中國科學院研究生院(中科院光電研究院)，飛行器設計專業，碩士學位。
2010.9-2015.7獲中國科學院大學(中科院光電研究院)，計算機應用技術專業，博士學位。
工作經曆
2008.7-2010.9任中國科學院光電研究院空間工程部，助理工程師。
2010.9-2018.11任職中國科學院光電研究院光電工程部。
2010.10聘為工程師。
2015.12聘為高級工程師。
2017.7-2018.8在美國SLAC國家加速器實驗室，做訪問學者。
2018.11至今，任中國科學院微電子研究所，高級工程師。
主要成就
科研成就
承擔科研項目
作為技術骨幹先後承擔國家科技重大專項（02專項）多項研發任務。
專利申請
授權國内發明專利32項，其中第一發明人12項；授權實用新型專利40項，其中第一發明人11項。
[1]一種動态氣體鎖的試驗裝置和試驗方法,發明,專利号:ZL201610390695
[2]極紫外輻照材料測試系統的真空獲得裝置及相應測試方法,發明,專利号:ZL201510076613
[3]一種極紫外反射鏡片的四維裝調裝置,發明,專利号:ZL201410545200
[4]一種螺旋氣流動态氣體鎖,發明,專利号:ZL201310343253
[5]一種新型氣體放電腔,發明,專利号:ZL201210337140
人才培養
代表論著
發表論文10餘篇，其中第一作者9篇。
[1]陳進新，王宇，謝婉露.極紫外光刻動态氣體鎖抑制率實驗研究[J].光學學報.2017,Vol.37,No.2,0222002.
[2]Jinxin Chen, Wanlu Xie, Xiaobin Wu, Yu Wang. 4-DOF mechanism design for reflectors in vacuum[C]. 3rd Annual International Conference on Mechanics and Mechanical Engineering, 2016.
[3]陳進新，王宇，謝婉露.極紫外光刻動态氣體鎖抑制率的理論研究[J].激光與光電子學進展.2016,Vol.53,No.5,053401.
[4]陳進新，王魁波，王宇.極紫外真空動态氣體鎖流場分析與研究[J].真空科學與技術學報.2015,Vol.35,No.8,940-946.
[5]陳進新，徐向宇，王宇.ArF準分子激光光源電極系統設計及電場仿真研究[J].激光與光電子學進展.2014,Vol.51,No.1,011402.
