人物經曆
工作經曆
1989.09－1992.03 航天部207所，高級工程師
1992.04－1993.03 日本工業技術院（現産業技術綜合研究所）計量研究院，客員研究員
1993.04－1997.09 日本科技廳，科學事業振興事業團，研究員
1997.10－至今 清華大學精儀系，1998年提升教授
主要成就
科研成就
主要研究包括大尺寸光栅的制作技術，光栅的離子束刻蝕及實時監測技術，中階梯光栅的制作，光栅掩膜的無損檢測，光栅參數高精度測量等。也包括光栅在計量中的應用，如二維光栅尺，基于光栅的外差調制技術，外差型傅立葉變換光譜儀等。
和日本東京大學，日本千葉大學，日本産業技術綜合研究所，美國伯克利大學等有合作研究。發表論文80餘篇，其中SCI檢索40餘篇，擁有3項發明專利。
榮譽表彰
2000年獲日本“注目發明專利獎”。1999年獲國家“傑出青年科學基金”和教育部“優秀青年教師基金”。
社會任職
Measurement Science and Technology雜志編委。
