技术原理
元素的原子受到高能辐射激发而引起内层电子的跃迁，同时发射出具有一定特殊性波长的X射线，根据莫斯莱定律，荧光X射线的波长λ与元素的原子序数Z有关，其数学关系如下：
λ=K(Z−s)−2
式中K和S是常数。
而根据量子理论，X射线可以看成由一种量子或光子组成的粒子流，每个光具有的能量为：
E=hν=hC/λ
式中，E为X射线光子的能量，单位为keV；h为普朗克常数；ν为光波的频率；C为光速。
因此,只要测出荧光X射线的波长或者能量,就可以知道元素的种类，这就是荧光X射线定性分析的基础。此外,荧光X射线的强度与相应元素的含量有一定的关系，据此，可以进行元素定量分析。
主要用途
X荧光光谱仪根据各元素的特征X射线的强度，可以测定元素含量。
近年来，X荧光光谱分析在各行业应用范围不断拓展，已成为一种广泛应用于冶金、地质、有色、建材、商检、环保、卫生等各个领域，特别是在RoHS检测领域应用得最多也最广泛。
大多数分析元素均可用其进行分析，可分析固体、粉末、熔珠、液体等样品，分析范围为Be到U。并且具有分析速度快、测量范围宽、干扰小的特点。
优缺点
优点
a)分析速度高。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟就可以测完样品中的全部待测元素。
b)X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。（气体密封在容器内也可分析）但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在超软X射线范围内，这种效应更为显着。波长变化用于化学位的测定。
c)非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好。
d)X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析。
e)分析精密度高。
f)制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。
缺点
a），故定量分析需要标样。
b）对轻元素的灵敏度要低一些。
c）容易受相互元素干扰和叠加峰影响。
分类
X荧光光谱仪有两种基本类型：波长色散型（WD-XRF）和能量色散型（ED-XRF）。
以X荧光的波粒二象性中波长特征为原理的称为波长色散型，以能量特征为原理的称为能量色散型。
应用
钛白粉是目前用途最广泛、应用效果最好的无机白色颜料,借助仪器分析可以快速对钛白粉样品进行直观表征。X射线衍射仪(XRD)和X荧光光谱仪(XRF)在分析钛白粉晶体类型和元素组成等方面有着重要应用。对XRD和XRF在钛白粉分析中的应用进行简要概述。
