机械简介
真空泵广泛用于塑料机械、农药化工、染料化工、砖瓦机械、低温设备、造纸机械、医药化工、食品机械、工业电炉、电子行业、真空设备、化肥、冶金、石油、矿山、地基处理等领域。还提供真空泵咨询、真空泵问题解决、真空泵调试、真空泵维修保养等服务。
2BA型水环式真空泵是为满足真空泵可带水吸气这一要求，在原SKF型和2FA型水环式真空泵的基础上，自行开发研制而成的新一代水环式真空泵。它设计先进、结构新颖，适用于各种较为苛刻、复杂的应用领域。它可抽吸含有大量水气，可凝汽的介质，在抽吸易燃，易爆或有毒、有腐蚀性气体时不易发生危险，故可广泛应用于机械、石油、化工、电力、制药、食品、陶瓷、制糖、印染、冶金、塑料、瓦砖、皮革等行业，特别适用于塑料配套使用，2BA型水环式真空泵分别取代SZ、SK、2SK-3、2SK-6、2S-185、2SK-230和W型往复式真空泵。
人们在使用过程中经常碰到输送化学气体，这就需要引进耐腐蚀真空泵的新概念。它是利用陶瓷这一特殊介质来做过流部分的，真正符合了通常的“耐磨、耐酸、耐碱、耐高温”的要求。此型号是上海意海最近推出的新产品。
机械原理
GG－17玻璃膨胀系数低，能更好地耐受很高的温度差变，故该泵比同型泵能受得起高温而且使用寿命也更长。该泵适用于电子工业，如电子管。显像管。X光管，以及半导体单晶硅的冶炼提纯，高沸点的油脂蒸馏提纯分离，日光灯，保温瓶高真空排气的仪器。先由转动真空泵把系统抽到10-2Pa扩散泵油被加热沸腾，以高速从喷出的油蒸汽流不断将系统内气体分子带到泵的侧臂弯管球泡处集结,待气体密度达到机械真空泵的工作范围而被抽出,从而逐渐获得高真空。
水环真空泵（简称水环泵）是一种粗真空泵，它所能获得的极限真空为2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。水环泵也可用作压缩机，称为水环式压缩机，是属于低压的压缩机，其压力范围为1~2×105Pa表压力。
水环泵最初用作自吸水泵，而后逐渐用于石油、化工、机械、矿山、轻工、医药及食品等许多工业部门。在工业生产的许多工艺过程中，如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，水环泵得到广泛的应用。由于真空应用技术的飞跃发展，水环泵在粗真空获得方面一直被人们所重视。由于水环泵中气体压缩是等温的，故可抽除易燃、易爆的气体，此外还可抽除含尘、含水的气体，因此，水环泵应用日益增多。
在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮顺时针方向旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。综上所述，水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。
罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。
罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。
性能参数
压强范围
真空泵种类 工作压强范围(Pa) 起动压强(Pa)
活塞式真空泵 1×105～1.3×102 1×105
旋片式真空泵 1×105—6.7×10-1 1×105
水环式真空泵 1×105—2.7×103 1×105
罗茨真空泵 1.3×103—1.3 1.3×103
涡轮分子泵1.3—1.3×10-5 1.3
水蒸气喷射泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
油扩散泵 1.3×10-2—1.3×10 -7 1.3×10
油蒸气喷射泵 1.3×10—1.3×10 -2 <1.3×105
分子筛吸附泵 1×105—1.3×10 -1 1×105
溅射离子泵 1.3×10-3—1.3×10 -9 6.7×10-1
钛升华泵 1.3×10-2—1.3×10 -9 1.3×10-2
锆铝吸气剂泵 1.3×10—1.3×10 -11 1.3×10
低温泵 1.3—1.3×10-11 1.3—1.3×10-1
机械分类
按其工作原理，基本上分为气体输送泵和气体捕集泵两种类型。气体输送泵包括：
1、液环真空泵（水环式真空泵）
2、往复式真空泵
3、旋片式真空泵
4、旋片式真空泵
5、滑阀式真空泵
6、余摆线真空泵
7、干式真空泵
8、罗茨真空泵
9、分子真空泵
10、牵引分子泵
11、复合式真空泵
12、水喷射真空泵
13、气体喷射泵
14、蒸汽喷射泵
15、扩散泵等
气体捕集泵包括：吸附泵和低温泵等。工业中应用最多的是水环式真空泵和旋片式真空泵等。
2SK、2SK-P1系列双级水环式真空泵
主要用来抽除空气和其它有一定腐蚀性、不溶于水、允许含有少量固体颗粒的气体。广泛用于食品、纺织、医药、化工等行业的真空蒸发、浓缩、浸渍、干燥等工艺过程中。该型泵具有真空度高、结构简单，使用方便、工作可靠、维护方便的特点。
JZJS型罗茨——水环泵机组
本机组由于采用水环泵作为前级泵，因而特别适用于抽除含有大量水蒸气和带有一定腐蚀性和可凝性气体的工艺过程中。如：真空蒸馏、蒸发、脱水、结晶、干燥等工艺过程中JZJX型罗茨一旋片泵机组( Model JZJX Roots-Sliding Vane Rotary Vacuum Pump System )是以罗茨泵为主泵，以旋片泵为前级泵串联而成。其结构紧凑，操作方便。适用于抽除空气及其它无可凝性及无腐蚀性的气体，广泛应用于需要大抽速和高真空的各种真这系统中。如：真空冶炼，电力电容器，变压器，真空浸渍处理，真空镀膜设备中的预抽等。
W型往复式真空泵
是获得粗真空的主要真空设备之一。广泛应用于化工，食品，建材等部门，特别是在真空结晶，干燥，过滤，蒸发等工艺过程中更为适宜。
2X型旋片式真空泵
用来抽除密闭容器的气体的基本设备之一。它可以单独使用，也可作为增压泵、扩散泵、分子泵的前级泵使用。该型泵广泛应用于冶金、机械、电子、化工、石油、医药等行业的真空冶炼、真空镀膜、真空热处理，真空干燥等工艺过程中。
2XZ型旋片式真空泵
具有结构紧凑，体积小，重量轻，噪音低，振动小等优点。所以，它适用于作扩散泵的前级泵，而且更适用于精密仪器配套和实验室使用。例如：质谱仪器，冰箱流水线，真空冷冻干燥机等。
XD型旋片式真空泵
可以在任意入口压强下工作，已普遍应用于食品的真空包装，塑料工业的真空吸塑成形。印刷行业的纸张输送，真空夹具，以及真空吸引等。SZ、SK系列水环式真空泵( Model SZ Water Ring Vacuum Pump )主要用于粗真空。抽气量大的工艺过程中。它主要用来抽除空气和其它无腐蚀，不溶于水，含有少量固体颗粒的气体，以便在密闭容器中形成真空。所吸气体中允许混有少量液体。它被广泛应用于机械、制药、食品、石油化工等行业中。
机械选择
选择真空泵注意事项真空泵使用准备
1、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。2、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。6、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg（绝压），在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化（详细变化情况参照泵的性能曲线），其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmHg下长期工作。7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。8、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度，选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg，最好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。9、真空泵的价格、运转及维修费用。
机械使用
在真空泵中真空泵油不仅作为获得真空的介质，还对机械摩擦点起润滑、冷却和密封作用。
主要性能要求：
1.极低的蒸气压
这是真空泵油的最重要的性能，由于真空泵要求真空度很高，一般用石蜡基窄馏分润滑油，对于扩散真空泵，还可使用蒸气压很低的硅油或其他合成油。
2.合适的粘度和良好的粘温特性
真空泵腔内容积不断变化而形成排气作用，要求润滑油应具有合适的粘度和粘温特性。
3.良好的热氧化安定性
真空泵不断向高速度发展，由于滑片和泵体的高速摩擦使油温升高，油品很容易氧化分解，尤其扩散泵往往处于很高的温度环境下工作，使系统内蒸气压升高，真空度降低，因此要求真空泵油具有良好的热氧化安定性。
4.良好的抗腐蚀性和抗乳化性
真空泵吸入的如果是腐蚀性气体，会与油发生化学反应，腐蚀泵内零件；吸入空气中往往含有水汽冷凝水，引起真空泵油的乳化并使金属腐蚀，所以要求具有良好的抗腐蚀和抗乳化性。
5.较高的闪点
主要要求真空泵中不携带轻质组分，以免影响油品的饱和蒸气压。
6.较低的极限压力
极限压力是真空泵油重要的使用性能指标以了解在最低真空极限压力下真空泵的极限压力。
特点及注意事项
真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子，降低真空室内的气体压力，使之达到要求的真空度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的范围，至今为止还没有一种真空系统能覆盖这个范围。因此，为达到不同产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、不同的真空区段需要选择不同的真空系统配置。为达到最佳配置，选择真空系统时，应考虑下述各点：
确定工作真空范围
首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度范围，必须认真研究确定之。
确定极限真空度
在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的最佳工作真空度。一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低20%，比前级泵的极限真空度低50%。
被抽气体种类与抽气量
检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。
真空容积
检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。
考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。
主真空泵的选择计算
s=2.303v/tlog(p1/p2)
其中：
s为真空泵抽气速率(l/s)
v为真空室容积(l)
t为达到要求真空度所需时间(s)
p1为初始真空度(torr)
p2为要求真空度(torr)
真空泵是一种旋转式变容，真空泵须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内有较大的抽速，对被抽除气体中含有灰尘和水蒸汽不敏感。
真空泵也有如下特点：
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;
(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。
(3)泵腔内无需用油密封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染;
(4)压缩比较低，对氢气抽气效果差;
(5)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;
(6)转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速;
目前，真空泵已被广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。所以，真空泵的好坏决定着我们冶金、化工等行业的发展，那么我们在使用真空泵时就需要注意一些相关事项，最大限度的将它保护好。如果蒸馏挥发性较大的有机溶剂时，有机溶剂会被油吸收结果增加了蒸气压，从而降低了抽空效能，如果是酸性气体，那就会腐蚀油泵，如果是水蒸气就会使油成乳浊液而抽坏真空泵。
维护保养
1、经常检查油位位置，不符合规定时须调整使之符合要求。以真空泵运转时，油位到油标中心为准。
2、经常检查油质情况，发现油变质应及时更换新油，确保真空泵工作正常。
3、换油期限按实际使用条件和能否满足性能要求等情况考虑，由用户酌情决定。一般新真空泵，抽除清洁干燥的气体时，建议在工作100小时左右换油一次。待油中看不到黑色金属粉末后，以后可适当延长换油期限。
4、一般情况下，真空泵工作2000小时后应进行检修，检查桷胶密封件老化程度，检查排气阀片是否开裂，清理沉淀在阀片及排气阀座上的污物。清洗整个真空泵腔内的零件，如转子、旋片、弹簧等。一般用汽油清洗，并烘干。对橡胶件类清洗后用干布擦干即可。清洗装配时应轻拿轻放小心碰伤。
5、有条件的对管中同样进行清理，确保管路畅通。
6、重新装配后应进行试运行，一般须空运转2小时并换油二次，因清洗时在真空泵中会留有一定量易挥发物，待运转正常后，再投入正常工作。
7、检查真空泵管路及结合处有无松动现象。用手转动真空泵，试看真空泵是否灵活。
8、向轴承体内加入轴承润滑机油，观察油位应在油标的中心线处，润滑油应及时更换或补充。
9、拧下真空泵泵体的引水螺塞，灌注引水（或引浆）。
10、关好出水管路的闸阀和出口压力表及进口真空表。
11、点动电机，试看电机转向是否正确。
12、开动电机，当真空泵正常运转后，打开出口压力表和进口真空泵，视其显示出适当压力后，逐渐打开闸阀，同时检查电机负荷情况。
13、尽量控制真空泵的流量和扬程在标牌上注明的范围内，以保证真空泵在最高效率点运转，才能获得最大的节能效果。
14、真空泵在运行过程中，轴承温度不能超过环境温度35C，最高温度不得超过80C 。
15、如发现真空泵有异常声音应立即停车检查原因。
16、真空泵要停止使用时，先关闭闸阀、压力表，然后停止电机。
17、真空泵在工作第一个月内，经100小时更换润滑油，以后每个500小时，换油一次。
18、经常调整填料压盖，保证填料室内的滴漏情况正常（以成滴漏出为宜）。
19、定期检查轴套的磨损情况，磨损较大后应及时更换。
20、真空泵在寒冬季节使用时，停车后，需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净。防止冻裂。
21、真空泵长期停用，需将泵全部拆开，擦干水分，将转动部位及结合处涂以油脂装好，妥善保管。
常见问题及维修方法
泵轴轴承位磨损
真空泵传动部位磨损是普遍存在的问题，其中包括轴承位、轴承座、轴承室、键槽及螺纹等部位，传统方法以补焊和刷镀喷涂为主，但两者均存在一定弊端：补焊高温产生的热应力无法完全消除，易造成材质损伤，导致部件出现弯曲或断裂；而电刷镀受涂层厚度限制，容易剥落，且以上两种方法都是用金属修复金属，无法改变“硬对硬”的配合关系，在各力综合作用下，仍会造成再次磨损。当代西方国家针对以上问题多使用高分子复合材料的修复方法，而应用较多的有美国美嘉华技术体系，其具有超强的粘着力，优异的抗压强度等综合性能。应用高分子材料修复，可免拆卸，免机加工。既无补焊热应力影响，修复厚度也不受限制，同时产品所具有的金属材料不具备的退让性，可吸收设备的冲击震动，避免再次磨损的可能，并大大延长设备部件的使用寿命，为企业节省大量的停机时间，创造巨大的经济价值。
腐蚀
真空泵腐蚀的形态可分为全面（均匀）腐蚀和局部腐蚀两大类，前者较均匀的发生在真空泵全部表面，后者只是发生在局部，如孔蚀、缝隙腐蚀、晶间腐蚀、应力腐蚀等。采用高分子复合材料对真空泵实施表面有机涂层防腐，其具有良好的耐化学性能及优异的力学性能和粘接性能，与传统的压力容器焊接修补相比，具有施工简便、成本低、安全性能，修复效果好的特点。
壳体裂纹破裂
真空泵因铸造、加工缺陷，内应力及超负荷运行等原因经常导致部件出现裂纹或断裂现象。常规的修复方法是采用焊接，但有的零件材质是铸铁、铝合金、钛合金，难以做焊接处理。还有一些易于发生爆炸的危险场合，更不易采用焊接修复方法。美嘉华技术是一种“冷焊”技术，可以避免热应力变形，同时材料良好的附着力和抗压、抗腐蚀等综合性能，可以最大限度地满足各种设备部件的使用要求，从而在最低成本的投入下有效保证生产。安全、方便、可靠。
类型
液环泵
虽然液环泵属于粗真空泵，但在中国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等领域仍然有着很大的市场。在国外，液环泵的销售额占全部真空泵市场的14%，仅次于干泵，所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在中国投资建厂或建立销售网络，不断扩大在中国的市场份额。由于液环泵大部分是铸件，加工要求也不高，属劳动密集型产品，所以国产液环泵在价格上有竞争优势，关键是要改进设计，缩小体积，减轻重量，提高效率，降低能耗。
滑阀泵
由于滑阀泵比较耐用、可靠，国内外各种真空炉、镀膜机以及干燥、浸渍等设备都是用滑阀泵作为前级泵，但是滑阀泵铸件重，加工工作量较大，所以国外各真空厂都在中国寻找合作伙伴。为了使国产滑阀泵能够进入国际市场，必须进一步降低泵的振动噪声，杜绝喷油和漏油，提高滑阀泵长期运行的可靠性。
直联旋片泵
随着真空技术在各个应用领域的不断扩大，直联旋片泵的需求量越来越大。由于这种泵数量很多，加工装配工作量很大，价格又很低，所以有的国外真空厂商在中国建立专业厂。国产中小型直联旋片泵在技术上已经过关，价格又远比国外的泵便宜，所以国产泵仍然有竞争优势，单级直联旋片式真空泵(XD系列、高仿进口系列)，一根主轴三片旋片。泵与电机是直联。特点是嗓音小、噪音低、排气洁净等明显优点，是粗抽真空泵系列应用最为广泛的真空泵，使用品牌比较常见为进口真空泵，现国内也有少数不多的几家真空泵厂生产出能完全代替进口真空泵使用的国产真空泵，成为国内比较受欢迎的几个粗抽真空泵品牌之一。
工作原理：旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33×10-2(Pa)属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它高真空泵或超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。
旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。
旋片泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。
旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1.33Pa和1.33×10-1(Pa)下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。
旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切(二者有很小的间隙)，转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。
罗茨泵
从国外罗茨泵生产情况来看，国外几家大公司，如Leybold、Balzers、Alcatell、Edwards和ULVAC，他们各家罗茨泵的销售额占全球罗茨泵销售额的比例都没超过5%，这5家总计才20%，罗茨泵产量不大，但国外罗茨泵的价格远比国产泵要高得多。目前，国内外几乎所有大型或小型的高真空和中真空系统，为了缩短抽气时间、提高生产效率都配有罗茨泵，所以国产罗茨泵一定要在占领国内市场基础上设法进入国际市场，这样就必须进一步降低国产罗茨泵的振动噪声，彻底解决轴封漏油问题，改进泵的外观质量，提高泵内的光洁度和清洁度。另外，还要考虑到有些国家和地区的电源频率为60Hz，更要确保罗茨泵在提高转速的情况下长期运行的可靠性。
目前，国内气冷式直排大气罗茨泵进展很快，技术上已经成熟。由于这种泵在排气口的下面装有气体冷却器，其中一部分被冷却的气体通过管道返回泵腔以冷却转子，从而使压缩热得到平衡，所以这种泵可以直排大气。为了满足不同极限真空度的要求，这种泵可以串联使用，一般前面加一台气冷式直排大气罗茨泵，所达到的极限真空要比前级泵高一个数量级。这种泵由于在泵腔内没有工作介质，实际上也是属于干泵。目前，这种气冷式直排大气罗茨泵及机组已经在石油、化工、塑料、农药、汽轮机转子动平衡、航空航天空间模拟等装置上得到了长期运行的考验，所以应该在国内大力推广和应用。
分子泵
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。
干泵
国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3／h～500m3／h。据统计，目前国产干泵的应用还不足1%，国内半导体工业用的干泵全部从国外进口，其价格十分昂贵。所以，中国应大力研究开发干泵，使干泵成为中国真空工业新的经济增长点。产品展示
旋片真空泵的抽速范围为0.5～150升/秒(1升＝10-3米3)，工作压力范围一般为1×105～1帕，较大抽速的压力范围为1×105～13帕。极限压力：单级泵为1帕,双级泵为6.5×10-2帕。旋片真空泵一般只适于抽除干燥或含有少量可凝性蒸汽的气体（对于后者须装气镇阀），不适于抽除含氧过高、爆炸性、腐蚀性、对泵油起化学作用和含有固体颗粒的气体。在真空系统中，这种泵可单独使用，或作为增压泵、扩散泵等的前级泵。n
环式真空泵(简称水环泵)是一种粗真空泵，它所能获得的极限压力，对于单级泵为2.66～9.31kPa；对于双级泵为0.133～0.665kPa。水环泵也可用作压缩机，它属于低压的压缩机，其压力范围为(1～2)X105Pa表压力(在特定的条件下)。水环泵在石油、化工、机械、矿山、轻工、造纸、动力、冶金、医药和食品等工业及市政与农业等部门的许多工艺过程中，如真空过滤、真空送料、真空脱气、真空蒸发、真空浓缩和真空回潮等，得到了广泛的应用，由于水环泵压缩气体的过程是等温的，故可抽除易燃、易爆的气体，此外还可抽除含尘，含水的气体，因此，水环泵的应用日益增大。n
水环泵是由叶轮、泵体、吸排气盘、水在泵体内壁形成的水环、吸气口、排气口、辅助排气阀等组成的。n
无油式真空泵是以循环水作为工作流体的喷射真空泵，是利用流体射流产生负压而设计的一种新型真空抽气真空泵，同时还能向反应装置中提供循环冷却水，特别是在水压不足或缺水源的实验室更显之优越，真空泵广泛用于蒸发、蒸馏、结晶、干燥、过滤减压、升华等。是大专院校、医药化工、食品加工等实验的理想设备。
1.一机多用多管作业，本机装有三套抽气头，可单独或并联使用;n
2.噪音小，移动方便;n
3.无污染，本机箱体为聚氯乙烯塑料,外壳采用冷板静电喷塑。 罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有一定的间隙，可以实现高转速运行。由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外，还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用。
罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀n
真空泵的功能特点分类n
凡是从设备中抽出气体，使设备内部达到真空的机械称为真空抽气机或真空泵。
从结构上真空泵大致可分为：往复式真空泵、回转式真空泵和射流式真空泵等。
1、往复式真空泵。往复式真空泵适用于抽送不含固体颗粒、无腐蚀性的气体。这种真空泵的抽气速率较大，真空度较高。故在化工厂中广泛应用。但其结构复杂，维修量大。
2、水环真空泵。水环式真空泵是回转真空泵的一种。
3、射流式真空泵。射流式真空泵是利用一种压力较高的工作流体来输送另一种流体。
循环水真空泵广泛用于蒸发蒸馏、结晶、过滤、减压、升华等作业，低温冷却循环水真空泵是真空泵和低温冷却泵的结合。即可以抽真空，又可以提供低温冷却循环水，是减压蒸馏和减压浓缩的良好辅助设备，特别适应配备旋转蒸发器，不但减少了使用空间，而且降低了真空度，节省了水资源，被现代实验室广泛装备。
发明历程
1647年有一位法国物理学家叫罗伯维尔(G.Roberval)，做了一个有趣的实验，他从鲤鱼肚里取出鱼鳔，尽可能将里面空气排尽，再把开口扎紧，放在托里拆利真空区内，结果鱼鳔膨胀起来。
这个实验令人信服地说明了，大气压下留在鱼鳔中的残余空气，当外部气压减小到零时，会膨胀为很大的体积。不久有人著书评述了这个实验，认为空气具有弹性，就好像海绵或羊毛一样，受到压力会收缩，压力减轻会膨胀。
德国人格里克在事先不知道托里拆利实验的情况下也发现了真空。他的经历饶有兴趣。有一一天，他让家人用唧筒抽酒桶中的水，在抽的过程中唧筒脱落了，他们用布条重新绑好，由于填塞过严，桶口封住了，结果把桶内的空气也抽掉了，只听得里面一片沸腾的噪音。格里克从这件事得到启发，就用铜球壳代替木桶，让家人再用唧筒抽。家人越抽越费劲，最后只听嘭的一声，铜球塌瘪了。
1654年，格里克为了向公众演示抽气实验，他安排了两个引人注目的表演。由于他那时是德国马德堡市的市长，所以这两个实验也叫马德堡半球实验。
实验之一，两个严密对接的半球形金属壳，中间抽空后，用16匹马也没有将两金属壳拉开。
实验之二，一对抽空的半球吊在支架上，可以承受非常大的负荷。格里克没有对吸力的起因提供解释，他的贡献，主要是发明了真空泵。
马德堡市长的新奇实验轰动了德国，当消息传到英吉利海峡对岸时，引起一番波澜，又有人做了许多新奇实验。其中一位就是大名鼎鼎的玻意耳。
