人物经历
工作经历
1989.09－1992.03 航天部207所，高级工程师
1992.04－1993.03 日本工业技术院（现产业技术综合研究所）计量研究院，客员研究员
1993.04－1997.09 日本科技厅，科学事业振兴事业团，研究员
1997.10－至今 清华大学精仪系，1998年提升教授
主要成就
科研成就
主要研究包括大尺寸光栅的制作技术，光栅的离子束刻蚀及实时监测技术，中阶梯光栅的制作，光栅掩膜的无损检测，光栅参数高精度测量等。也包括光栅在计量中的应用，如二维光栅尺，基于光栅的外差调制技术，外差型傅立叶变换光谱仪等。
和日本东京大学，日本千叶大学，日本产业技术综合研究所，美国伯克利大学等有合作研究。发表论文80余篇，其中SCI检索40余篇，拥有3项发明专利。
荣誉表彰
2000年获日本“注目发明专利奖”。1999年获国家“杰出青年科学基金”和教育部“优秀青年教师基金”。
社会任职
Measurement Science and Technology杂志编委。
